একটি নীলা চাপ-সংবেদনশীল কাঠামোর জন্য একটি নীলকান্তমণি ওয়েফার সরাসরি বন্ধন পদ্ধতি এবং প্রক্রিয়া

1. বর্তমান উদ্ভাবনটি মেমস প্রযুক্তির প্রযুক্তিগত ক্ষেত্রের অন্তর্গত, বিশেষ করে একটি নীলকান্তমণি চাপ-সংবেদনশীল কাঠামোর নীলকান্তমণি ওয়েফারের সরাসরি বন্ধনের জন্য একটি পদ্ধতি।

পটভূমি কৌশল:

2. ঐতিহ্যবাহী অর্ধপরিবাহী চাপ সেন্সরগুলির অপারেটিং তাপমাত্রা সাধারণত 600 ডিগ্রির নিচে থাকে। sic piezoresistive প্রেসার সেন্সরের সর্বোচ্চ অপারেটিং তাপমাত্রা হল 600 ডিগ্রি, সোই প্রেসার সেন্সরের সর্বোচ্চ অপারেটিং তাপমাত্রা 500 ডিগ্রির নিচে এবং সিলিকন-স্যাফায়ার প্রেসার সেন্সরের সর্বোচ্চ অপারেটিং তাপমাত্রা। তাপমাত্রা 350 ডিগ্রি। উচ্চ তাপমাত্রার পরিবেশে বৈদ্যুতিক চাপ সেন্সর প্রয়োগ করা কঠিন।

3. বর্তমানে, নীলকান্তমণি চিপগুলির উপর ভিত্তি করে ফাইবার অপটিক চাপ সেন্সর পণ্য বিদেশে উপস্থিত হয়েছে, যেমন ব্রিটিশ অক্সসেনসিস কোম্পানির ওয়েভ-ফায়ার dpt950 ফাইবার অপটিক চাপ সেন্সর, সর্বাধিক কাজের তাপমাত্রা 600 ডিগ্রি পৌঁছাতে পারে এবং প্রোবের সামনের প্রান্তে পৌঁছাতে পারে 1000 ডিগ্রী। যাইহোক, স্যাফায়ার চিপের উপর ভিত্তি করে অপটিক্যাল ফাইবার চাপ সেন্সরগুলির গবেষণার ফলাফল চীনে রিপোর্ট করা হয়নি। চীনা পেটেন্ট নথি cn103234673 একটি উচ্চ তাপমাত্রা-প্রতিরোধী চাপ সেন্সর মাইক্রো-ন্যানো কাঠামো প্রকাশ করে, যার মধ্যে রয়েছে: একটি সিলিকন কার্বাইড ডায়াফ্রাম, একটি প্রতিফলিত ফিল্ম, একটি আধা-প্রতিফলিত ফিল্ম, একটি বন্ধন স্তর, একটি সিলিকন কার্বাইড সাবস্ট্রেট, একটি এনক্যাপসুলেশন স্তর এবং একটি স্যাপির অপটিক্যাল ফাইবার; প্রতিফলিত ফিল্মটি সিলিকন কার্বাইড ডায়াফ্রামের মাঝখানে প্রলিপ্ত হয়, আধা-প্রতিফলিত ফিল্মটি নীলকান্তমণি ফাইবারের শেষে প্রলিপ্ত হয়, বন্ধন স্তর (সিলিকন ডাই অক্সাইড) সিলিকন কার্বাইড ডায়াফ্রাম এবং সিলিকন কার্বাইড সাবস্ট্রেটের মধ্যে অবস্থিত, এবং নীলকান্তমণি ফাইবার এনক্যাপসুলেশন স্তর (উচ্চ তাপমাত্রার সিরামিক আঠা) মাধ্যমে সিলিকন কার্বাইড সাবস্ট্রেটের সাথে সংযুক্ত থাকে। উপরের চাপ সেন্সরের প্রস্তুতির প্রক্রিয়া হল একটি সিলিকন কার্বাইড ডায়াফ্রামের উপর প্রলেপিত একটি প্রতিফলিত ফিল্ম এবং একটি নীলকান্তমণি অপটিক্যাল ফাইবারের প্রান্তে প্রলেপিত একটি আধা-প্রতিফলিত ফিল্ম ব্যবহার করে একটি ফ্যাব্রি-প্যারোট হস্তক্ষেপ গহ্বর তৈরি করা তাপমাত্রা পরিবেশ।

4. বর্তমানে, গার্হস্থ্য স্যাফায়ার ওয়েফার (ওয়েফার-লেভেল) সরাসরি বন্ধন প্রক্রিয়াটি এখনও তাত্ত্বিক গবেষণা পর্যায়ে রয়েছে এবং এখনও কোন পরিপক্ক স্যাফায়ার ওয়েফার (ওয়েফার-লেভেল) সরাসরি বন্ধন প্রক্রিয়া প্রযুক্তি নেই। চীনে, ওয়েফার-স্তরের বন্ধন সাধারণত সিলিকন-ভিত্তিক উপকরণের লক্ষ্যে থাকে এবং বন্ধনের তাপমাত্রা 500 ডিগ্রির নিচে থাকে, যেমন সিলিকন-সিলিকন বন্ধন, সিলিকন-গ্লাস অ্যানোডিক বন্ধন ইত্যাদি। চীনা পেটেন্ট নথি cn 105236350 a একটি সরাসরি বন্ধন প্রকাশ করে নীলকান্তমণি চাপ-সংবেদনশীল চিপগুলির জন্য পদ্ধতি, শুধুমাত্র তাপমাত্রা 1350 ডিগ্রী, বন্ধন প্রক্রিয়া চলাকালীন কোন চাপ (চাপ) নিয়ন্ত্রণ নেই, এবং তাপমাত্রা এবং চাপের কোন সংযোগ নিয়ন্ত্রণ নেই।

যোগাযোগ করুন:

Email: zhang@pride-cnc.com

টেলিফোন: প্লাস 86-755-23699351

মব: প্লাস 8618666663894