পার্শ্বীয় যৌগিক অস্তরক ফিল্ম এবং এর উত্পাদন পদ্ধতির উপর ভিত্তি করে এক ধরণের MEMS মাইক্রো-হট প্লেট
Sep 16, 2022
একটি বার্তা রেখে যান
ট্রান্সভার্স কম্পোজিট ডাইলেকট্রিক ফিল্ম এবং এর উত্পাদন পদ্ধতির উপর ভিত্তি করে এক ধরণের MEMS মাইক্রো-হট প্লেট
প্রযুক্তিগত ক্ষেত্র
1. বর্তমান উদ্ভাবনটি মেমসের প্রযুক্তিগত ক্ষেত্রের সাথে সম্পর্কিত, বিশেষ করে একটি ট্রান্সভার্স কম্পোজিট ডাইইলেকট্রিক ফিল্মের উপর ভিত্তি করে একটি মেমস মাইক্রো-হট প্লেট এবং এটির একটি উত্পাদন পদ্ধতি।
পটভূমি কৌশল:
2. মেমস প্রক্রিয়ার উপর ভিত্তি করে মাইক্রো-হটপ্লেটগুলি ক্ষুদ্রকরণ, কম বিদ্যুত খরচ, দ্রুত তাপ প্রতিক্রিয়া এবং সহজ একীকরণের সুবিধা রয়েছে বলে প্রমাণিত হয়েছে এবং মাইক্রো-গ্যাস সেন্সর, মাইক্রো-গ্যাস ফ্লো মিটার, ইনফ্রারেড ইমিটারে ব্যাপকভাবে ব্যবহৃত হয়। , এবং মাইক্রো-থার্মোমিটার। উদাহরণস্বরূপ, যখন একটি মাইক্রো-গ্যাস সেন্সরের জন্য একটি মাইক্রো-হট প্লেট ব্যবহার করা হয়, তখন মাইক্রো-গ্যাস সেন্সরের কার্যকারিতা তার অপারেটিং তাপমাত্রা এবং যান্ত্রিক স্থিতিশীলতার দ্বারা প্রভাবিত হয়। সাধারণত, মাইক্রো-গ্যাস সেন্সরের জন্য ব্যবহৃত মাইক্রো-হট প্লেটকে 150 ডিগ্রী থেকে 400 ডিগ্রী একটি অভিন্ন তাপমাত্রা সরবরাহ করতে হবে এবং ভাল। মাইক্রো-হট প্লেটের যান্ত্রিক স্থায়িত্বের জন্য মাইক্রো-হট প্লেটের গরম করার হার দ্রুত হওয়া প্রয়োজন। এবং সমানভাবে বিতরণ করা হয়। মোবাইল ডিভাইসে একীভূত হওয়ার জন্য, মাইক্রোহটপ্লেটগুলিকে যথাসম্ভব বিদ্যুত খরচ কমাতে হবে এবং একটি উপযুক্ত তাপমাত্রা প্রদান করতে হবে, যেখানে তাপমাত্রার অভিন্নতা, যান্ত্রিক বৈশিষ্ট্য এবং গরম করার হার বজায় রাখতে হবে, যা মাইক্রোহটপ্লেট গবেষণার ক্ষেত্রে একটি হট স্পট হয়ে উঠেছে।
3. বর্তমান মেমস প্ল্যানার মাইক্রো-হট প্লেট সাধারণত sio2, si3n4 বা sio2, si3n4 ফিল্মগুলিকে একটি উল্লম্ব দিকে একত্রিত করে একটি সমর্থন স্তর এবং একটি অস্তরক স্তর তৈরি করে। যাইহোক, শুধুমাত্র sio2 উপাদান ব্যবহার করে মাইক্রো-হট প্লেটের নিম্ন তাপ পরিবাহিতা তাপের ক্ষতি বাড়াতে এবং উচ্চ-তাপমাত্রার তাপীয় বিকৃতি ঘটাতে সহজ। শুধুমাত্র si3n4 উপাদান ব্যবহার করে মাইক্রো-হট প্লেট উচ্চ-তাপমাত্রার তাপীয় বিকৃতি হ্রাস করতে পারে এবং গরম করার হার বাড়াতে পারে, কিন্তু উচ্চ তাপ পরিবাহিতা sio2 এবং si3n4-এর বৈশিষ্ট্য পার্শ্বীয় তাপ হ্রাস এবং হট প্লেটের বিকৃতির দিকে পরিচালিত করে। sio2 এবং si3n4 ফিল্মের সমন্বয়ে একটি উল্লম্ব দিকের সংমিশ্রণ হ্রাস করা হয়, কিন্তু পার্শ্বীয় তাপের ক্ষতি এখনও বিদ্যমান। এই কারণগুলি সাসপেনশন-ব্রিজ-টাইপ মাইক্রো-হটপ্লেটের তুলনায় ফ্ল্যাট-টাইপ মাইক্রো-হটপ্লেটের একটি বৃহত্তর তাপ পরিবাহী ক্ষতি এবং উচ্চ শক্তি খরচের দিকে পরিচালিত করে। যাইহোক, সাসপেনশন ব্রিজ-টাইপ মাইক্রো-হট প্লেটের গুরুতর সমস্যাগুলি হল বড় বিকৃতি, সহজ ক্ষতি এবং পরবর্তী পর্যায়ে অন্যান্য প্রক্রিয়াগুলির সাথে অসঙ্গতি, যার ফলে এই ধরণের মাইক্রোর উপর ভিত্তি করে ডিভাইস তৈরির কম ফলন, কম স্থিতিশীলতা এবং নির্ভরযোগ্যতা। -গরম প্লেট.
যোগাযোগ করুন:
Email: zhang@pride-cnc.com
টেলিফোন: প্লাস 86-755-23699351
মব: প্লাস 8618666663894